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臭氧實(shí)驗(yàn)裝置一站式服務(wù)平臺
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科研用高濃度高純度臭氧發(fā)生器（液化型）? 3S-B50

型號：3S-B50
品牌：同林
臭氧濃度：＞99%
臭氧產(chǎn)量：
使用氣源：氧氣
產(chǎn)地：北京
冷卻方式：自動(dòng)冷卻
設(shè)備尺寸：390*695*1190mm
整機(jī)重量：30kg
推薦指數(shù)：comment rank 5
購機(jī)說明：
提前了解實(shí)驗(yàn)要求，才能更好的為您推薦合適的實(shí)驗(yàn)機(jī)型。咨詢在線客服或致電：010-82461830，謝謝~
支持定制，滿足實(shí)驗(yàn)需求
配件完善，安裝如此簡單
順豐快遞，包裝配送無憂
視頻指導(dǎo)，問題及時(shí)解決
產(chǎn)品分類樹

產(chǎn)品詳情

實(shí)驗(yàn)現(xiàn)場

臭氧知識

參考文獻(xiàn)

3S-B50高純臭氧發(fā)生器是液化和儲存臭氧氣體并連續(xù)供應(yīng)高純度臭氧氣體的裝置。由于高純度的臭氧水平，它可以用作半導(dǎo)體工藝中的氧自由基產(chǎn)生源。為了安全起見，本機(jī)具有足夠的安全措施。
優(yōu)勢：
●超高純臭氧制備
●臭氧濃度高于99.5%
●液化池容積限制設(shè)計(jì)
●安全閥設(shè)計(jì)
●急停設(shè)計(jì)

產(chǎn)品特點(diǎn)
● 全金屬密封臭氧液化池
● 無硅膠吸附劑
● 閉循環(huán)制冷機(jī)自動(dòng)控溫
● 提純速度快,準(zhǔn)備時(shí)間只需30分鐘；提純1小時(shí)，能產(chǎn)出約4標(biāo)升高純臭氧氣體，可滿足大部分用戶十小時(shí)以上的生長需求
● 設(shè)計(jì)緊湊
● 操作簡便，即起即停
● 高純臭氧應(yīng)用領(lǐng)域：化學(xué)氣相沉積（CVD），原子層沉積（ALD），氧化物生長，表面處理，粒子清潔，光刻膠去除，灰化等。
臭氧輸出束流的穩(wěn)定性和持續(xù)性

日本進(jìn)口高純臭氧系統(tǒng)
日本進(jìn)口高純臭氧系統(tǒng)
將臭氧生成裝置產(chǎn)生的臭氧氣體極度低溫液化后，生成99.99%濃度臭氧。
可以持續(xù)供給99.99%濃度臭氧。
工作原理

臭氧應(yīng)用

Q：電暈放電臭氧發(fā)生器工作原理
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